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Desarrollo de circuitos superconductores para tecnologías espaciales y cuánticas

María Teresa Magaz obtuvo su licenciatura en Química Orgánica en la Universidad Autónoma de Madrid en 1988 y su master en Técnico Superior en Prevención de Riesgos Laborales, en 2010.

Desde 2010 a 2015 trabajó en la sala blanca del Instituto Tecnológico de la Marañosa (INTA), colaborando en la microfabricación de detectores de infrarrojo no refrigerados basados en PbSe.

Desde 2017, trabaja en el Centro de Astrobiología (CSIC-INTA) en colaboración con IMDEA-Nanociencia en Madrid como experta en nano y microfabricación. Sus tareas se centran en el proceso y optimización en sala blanca de detectores superconductores de inductancia cinética (KIDs) para instrumentación espacial y de tierra.  

Su experiencia incluye el diseño asistido por ordenador, la fabricación usando técnicas como la deposición en alto vacío por pulverización catódica (Sputtering) y evaporación por haz de electrones, deposición de capas atómicas (ALD) de materiales aislantes, litografía óptica con y sin máscara, litografía por haz de electrones (EBL), el ataque húmedo y por iones reactivos (RIE) y la caracterización estructural mediante microscopía óptica y electrónica.

Ha contribuido en mas de 15 congresos nacionales e internacionales y es coautora de más de 10 publicaciones.

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Palabras clave Detectores de Inductancia Cinética, fabricación de dispositivos superconductores, sala blanca, nano y microfabricación, litografía, microscopía, Sputtering, ALD, EBL, RIE

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